Herstellung von Mikrostrukturen durch Lithographie, Galvanik und Abformung (LIGA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230036791 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Ecole d'Ingenieurs du Valais, CH, 13.Dezember 1994 |