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Herstellung von Mikrostrukturen durch Lithographie, Galvanik und Abformung (LIGA)

Fahrenberg, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230036791
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Ecole d'Ingenieurs du Valais, CH, 13.Dezember 1994
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