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Entwicklung und Herstellung von mikrooptischen Komponenten und Systemen mit Hilfe der LIGA-Technik

Göttert, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230036794
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Institut für Mikromechanik, Mainz, 9.Dezember 1994
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