Entwicklung und Herstellung von mikrooptischen Komponenten und Systemen mit Hilfe der LIGA-Technik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230036794 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Institut für Mikromechanik, Mainz, 9.Dezember 1994 |