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Entwicklung und Herstellung von mikrooptischen Komponenten und Systemen mit Hilfe der LIGA-Technik

Göttert, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230036794
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Institut für Mikromechanik, Mainz, 9.Dezember 1994
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