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Entwicklung und Herstellung mikrooptischer Komponenten

Göttert, J.; Fischer, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230036796
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statusseminar des BMFT-Verbundprojektes Mikrosystemtechnik zum Einsatz in der minimal-invasiven neurochirurgischen Operationstechnik, Karlsruhe, 30.November 1994
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