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ARXPS-studies of SiO₂-SiC interfaces on 6H SiC single crystal (001)Si- and (001) C-surfaces

Hornetz, B.; Michel, H. J.; Halbritter, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230036854
HGF-Programm 31.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Fall Meeting of the Materials Research Society, Boston, Mass., November 28 - December 2, 1994
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