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ARXPS-studies of oxidation of 6H SiC single crystal (001) Si- and (001) C-surfaces

Hornetz, B.; Michel, H.J.; Halbritter, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230036857
HGF-Programm 31.02.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 41st Nat.Symp.onf the American Vacuum Society and 3rd Internat.Conf. on Nanometer-Scale Science and Technology, Denver, Colo., October 24-28, 1994
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