ARXPS-studies of oxidation of 6H SiC single crystal (001) Si- and (001) C-surfaces
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230036857 |
| HGF-Programm | 31.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 41st Nat.Symp.onf the American Vacuum Society and 3rd Internat.Conf. on Nanometer-Scale Science and Technology, Denver, Colo., October 24-28, 1994 |