Methoden zur Herstellung von kleinen Strukturen, Sensoren und Aktoren, Aufbau- und Verbindungstechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230036904 |
| HGF-Programm | 41.00.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Tagung der Evangelischen Akademie Baden, Mikrosystemtechnik, ein Neuland technischer Entwicklung, Bad Herrenalb, 10.-12.Februar 1995 |