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Methoden zur Herstellung von kleinen Strukturen, Sensoren und Aktoren, Aufbau- und Verbindungstechnik

Bley, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Projekt Mikrosystemtechnik (PMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230036904
HGF-Programm 41.00.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Tagung der Evangelischen Akademie Baden, Mikrosystemtechnik, ein Neuland technischer Entwicklung, Bad Herrenalb, 10.-12.Februar 1995
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