| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230036981 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Schlüsseltechnologien, Universität Kaiserslautern, 8.Februar 1995 |