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A modular concept for fabricating microsystems

Menz, W.; Kohl, M.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230036988
HGF-Programm 41.04.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk MEMS '95 - Micro Electro Mechanical Systems : an Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, Amsterdam, NL, January 29 - February 2, 1995
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