Fluidic micro-oscillator to steer a linear tool

Gebhard, U.; Hein, H.; Menz, W.; Ruther, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230036991
HGF-Programm	41.07.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Internat.Symp.on Microsystems, Intelligent Material and Robots (MIMR '95), Sendai, J, September 27-29, 1995