Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230036992 |
HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Internat.Symp.on Microsystems, Intelligent Material and Robots (MIMR '95), Sendai, J, September 27-29, 1995 |