Microsystem technology in Germany

Menz, W.; Brasche, U.; Pfirrmann, O.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230037100
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micro Machine Summit, Kyoto, J, March 13-15, 1995