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Microsystem technology in Germany

Menz, W.; Brasche, U.; Pfirrmann, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230037100
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micro Machine Summit, Kyoto, J, March 13-15, 1995
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