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Zerstörungsfreies Prüfen von Schichtsystemen und Strukturen der Mikrosystemtechnik mit der Photoakustischen Methode

Rohde, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230037114
HGF-Programm 41.02.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk DGM-Hauptversammlung '95, Bochum, 6.-9.Juni 1995
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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