Zerstörungsfreies Prüfen von Schichtsystemen und Strukturen der Mikrosystemtechnik mit der Photoakustischen Methode
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037114 |
| HGF-Programm | 41.02.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | DGM-Hauptversammlung '95, Bochum, 6.-9.Juni 1995 |