Standardization in Microsystem Technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037128 |
| HGF-Programm | 41.04.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro Machine Summit, Kyoto, J, March 13-15, 1995 |