Plasmaless silicon etching with mixtures of bromine and fluorine

Köhler, U.; Guber, A.; Bier, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230037213
HGF-Programm	52.01.13 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Fluortagung, Bled, Slovenia, 18.-22.September 1995