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Plasmaless silicon etching with mixtures of bromine and fluorine

Köhler, U.; Guber, A.; Bier, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230037213
HGF-Programm 52.01.13 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Fluortagung, Bled, Slovenia, 18.-22.September 1995
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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