Plasmaless silicon etching with mixtures of bromine and fluorine
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037213 |
| HGF-Programm | 52.01.13 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Fluortagung, Bled, Slovenia, 18.-22.September 1995 |