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Aufbau von Mikroanalysesystemen mit dem LIGA-Verfahren

Bade, K.; Hoffmann, W.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230037214
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk InCom '95, Düsseldorf, 20.-24.März 1995
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