Aufbau von Mikroanalysesystemen mit dem LIGA-Verfahren
Bade, K.
; Hoffmann, W.; Schomburg, W. K.
; Hoffmann, W.; Schomburg, W. K.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037214 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | InCom '95, Düsseldorf, 20.-24.März 1995 |