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A comparison of microactuator concepts for use in microsystems in view of fabrication technologies and applications

Schulz, J.; Bley, P.; Zum Gahr, K.H.; Menz, W.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230037339
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Symp.on Magnetic Materials, Processes and Devices during Fall Meeting of the Electrochemical Society, Chicago, Ill., October 8-13, 1995
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