A comparison of microactuator concepts for use in microsystems in view of fabrication technologies and applications
Schulz, J.
; Bley, P.; Zum Gahr, K. H.; Menz, W.; Mohr, J.
; Bley, P.; Zum Gahr, K. H.; Menz, W.; Mohr, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037339 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Symp.on Magnetic Materials, Processes and Devices during Fall Meeting of the Electrochemical Society, Chicago, Ill., October 8-13, 1995 |