Der LIGA-Prozeß als Beispiel für die Realisierung einer Mikrofabrikationsstrategie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037363 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Statusseminar μFab, IPA Stuttgart, 13.Juni 1995 |