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Der LIGA-Prozeß als Beispiel für die Realisierung einer Mikrofabrikationsstrategie

Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230037363
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Statusseminar μFab, IPA Stuttgart, 13.Juni 1995
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