Mikrostrukturierte LIGA-Bauteile für Zugprüfversuche

Heckele, M.; Feit, K.; Ilzhöfer, A.; Schinke, B.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230037364
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	DGM-Hauptversammlung '95, Bochum, 6.-9.Juni 1995