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The LIGA-process and mechanical micro fabrication: two process techniques to fabricate micro structures with implications in micro mechanics, micro optics and micro fluidics

Mohr, J.; Göttert, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230037453
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Seminaire de l' Ecole Doctoral Promen, Nancy, 22-23 Mai, 1995
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