The LIGA-process and mechanical micro fabrication: two process techniques to fabricate micro structures with implications in micro mechanics, micro optics and micro fluidics
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037453 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Seminaire de l' Ecole Doctoral Promen, Nancy, 22-23 Mai, 1995 |