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Analysis of the exhaust gases formed during plasma supported cleaning of plasma CVD facilities with fluorine containing substances

Guber, A.E.; Köhler, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230037456
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 11th European Symp.on Fluorine Chemistry, Bled, Slovenia, September 17-22, 1995
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