Analysis of the exhaust gases formed during plasma supported cleaning of plasma CVD facilities with fluorine containing substances
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037456 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 11th European Symp.on Fluorine Chemistry, Bled, Slovenia, September 17-22, 1995 |