Fluidic components in microsystem technologies
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037457 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Symp.on Microsystems, Intelligent Material and Robots (MIMR '95), Sendai, J, September 27-29, 1995 |