| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037458 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro Mechanics Europe, Kopenhagen, DK, September 3-5, 1995 12. Aachener Fluidtechnisches Kolloquium, Aachen, 12.-13.März 1996 |