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Mechanische Mikrofertigung - Verfahren zur kostengünstigen Fertigung von Mikrostrukturen

Guber, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230037578
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: IHK Schwarzwald-Baar-Heuberg, Villingen-Schwenningen, 22.Juni 1995
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