Mechanische Mikrofertigung - Verfahren zur kostengünstigen Fertigung von Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037578 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: IHK Schwarzwald-Baar-Heuberg, Villingen-Schwenningen, 22.Juni 1995 |