Microspectrometer for the IR range

Müller, C.; Krippner, P.; Mohr, J.; Sel, C. van der

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230037579
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995