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An architecture for process planning, analysis and simulation in microsystems technology

Huber, M.; Neuscheler, F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230037590
HGF-Programm 52.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1st Internat.Conf.on Simulation and Design of Microsystems and Microstructures (microSIM 95), Southampton, GB, September 26-28, 1995
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