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Knowledge based support for manufacturing of microstructures

Scherer, K. P.; Buchberger, P.; Eggert, H.; Stiller, P.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230037609
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995
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