From CAD through manufacturing to quality control of microstructures
Scherer, K. P.; Eggert, H.; Buchberger, P.; Stiller, P.; Stucky, U.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230037610 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 1st Internat.Conf.on Simulation and Design of Microsystems and Microstructures (microSIM 95), Southampton, GB, September 26-28, 1995 |