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From CAD through manufacturing to quality control of microstructures

Scherer, K.P.; Eggert, H.; Buchberger, P.; Stiller, P.; Stucky, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230037610
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1st Internat.Conf.on Simulation and Design of Microsystems and Microstructures (microSIM 95), Southampton, GB, September 26-28, 1995
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