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Optical and electron-beam lithography. Tools for fabrication of HARMST

Mohr, J.; Hein, H.; Schulz, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230037678
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995
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