LIGA-Mikroventilsitze aus fluorierten Polymeren

Ruprecht, R.; Bacher, W.; Kalb, H.; Kowanz, B.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230037748
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	DGM-Hauptversammlung '95, Bochum, 6.-9.Juni 1995