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Entwurf und Kleinserienfertigung der Mikropumpen

Büstgens, B.; Maas, D.; Bacher, W.; Keller, W.; Schomburg, W. K.; Seidel, D.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230037775
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3. Statuskolloquium METEOR, Karlsruhe, 18.November 1995
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