Entwurf und Kleinserienfertigung der Mikropumpen

Büstgens, B.; Maas, D.; Bacher, W.; Keller, W.; Schomburg, W. K.; Seidel, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230037775
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	3. Statuskolloquium METEOR, Karlsruhe, 18.November 1995