The LIGA-process and its applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038006 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Hitachi Central Research Laboratory, Tokyo, 3.Oktober 1995 |