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The LIGA-process and its applications

Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230038006
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Hitachi Central Research Laboratory, Tokyo, 3.Oktober 1995
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