Begleitende FTIR-Untersuchungen bei der Entwicklung eines plasmalosen Ätzprozesses auf Basis der elementaren Halogene Brom und Fluor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038007 |
| HGF-Programm | 52.01.13 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | BRUKER FTIR-Benutzertreffen, Karlsruhe, 10.-11.November 1994 |