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Begleitende FTIR-Untersuchungen bei der Entwicklung eines plasmalosen Ätzprozesses auf Basis der elementaren Halogene Brom und Fluor

Köhler, U.; Guber, A.; Bier, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230038007
HGF-Programm 52.01.13 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk BRUKER FTIR-Benutzertreffen, Karlsruhe, 10.-11.November 1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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