Heat transport effects in masks for deep x-ray lithography during the irradiation process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038139 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 |