Werkstoffentwicklung für Dünnschichtaktoren in der Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038213 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Kolloquium über Elektronenstrahltechnologie und Mikrosystemtechnik, Berlin, 28.April 1995 |