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Werkstoffentwicklung für Dünnschichtaktoren in der Mikrosystemtechnik

Quandt, E.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230038213
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Kolloquium über Elektronenstrahltechnologie und Mikrosystemtechnik, Berlin, 28.April 1995
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