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μSystem-Aktoren. Dünnschicht Werkstoffentwicklung für Aktoren in der μSystemtechnik

Quandt, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230038215
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Technologiekolloquium, Daimler Benz AG, München, 7.Juli 1995
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