| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Radiochemie (IRCH) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038251 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 3.Workshop 'Methoden und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf', Karlsruhe, 14.November 1995 |