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Recent development in microsystems fabricated by the LIGA-technique

Schulz, J.; Bade, K.; El-Kholi, A.; Hein, H.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230038261
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk ICI Micro-Neurotechnology for Space Applications Conf., Houston, Tex., October 30 - November 3, 1995
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