Recent development in microsystems fabricated by the LIGA-technique
Schulz, J.
; Bade, K.
; El-Kholi, A.; Hein, H.; Mohr, J.
; Bade, K.
; El-Kholi, A.; Hein, H.; Mohr, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038261 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | ICI Micro-Neurotechnology for Space Applications Conf., Houston, Tex., October 30 - November 3, 1995 |