Recent development in microsystems fabricated by the LIGA-technique

; El-Kholi, A.; Hein, H.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230038261
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	ICI Micro-Neurotechnology for Space Applications Conf., Houston, Tex., October 30 - November 3, 1995