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Mikromembransensoren

Vitt, M.; Ahrens, R.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230038263
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk INTERKAMA, Düsseldorf, 30.Oktober - 4.November 1995
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