Aspects of quality and reliability of the LIGA-technology

Hein, H.; Jakobs, P. J.; Müller, C.; Wollersheim, O.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230038267
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Vortr.: ETH Zürich, CH, 11.Oktober 1995