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Mechanische Werkstoffcharakterisierung im LIGA-Verfahren

Feit, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230038283
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Arbeitskreis 'Mechanische Werkstoffcharakterisierung in der Mikrosystemtechnik/Nanoindentation' im Deutschen Verband für Materialforschung und -prüfung, Stuttgart, 5.-6.Oktober 1995
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