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Variationen des LIGA-Prozesses zur Herstellung nachrichtentechnischer Komponenten am Beispiel einer Bypass-Schaltung

Müller, A.; Göttert, J.; Kohl, M.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230038413
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Abschlußseminar BMBF-Verbundprojekt AVT-KEO, Bonn, 30.November - 1.Dezember 1995
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