Variationen des LIGA-Prozesses zur Herstellung nachrichtentechnischer Komponenten am Beispiel einer Bypass-Schaltung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038413 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Abschlußseminar BMBF-Verbundprojekt AVT-KEO, Bonn, 30.November - 1.Dezember 1995 |