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Present state of LIGA technology in Germany

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230038444
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Advanced Machining Technology and Development Association, Tokyo, J, 30.Oktober 1995
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