Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230038452 |
HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 |