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Dynamical electron-beam excitation for deep X-ray lithography at the storage ring delta

Körfer, M.; Wille, K.; Langen, J.; Pantenburg, F.J.; Sesterhenn, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230038455
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995
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