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Aspekte zur Qualitätssicherung in der LIGA-Technik

Hein, H.; Jakobs, P.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230038465
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Technische Universität Wien, A, 30.Oktober 1995
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