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Fabrication of microstructures using synchrotron radiation

Mohr, J.; El-Kholi, A.; Pantenburg, F.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230038678
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk User Meeting Elettra, Trieste, I, December 4-5, 1995
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