First LIGA-microstructures produced at Elettra

El-Kholi, A.; Carlo, F. de; Flockerzi, H.; Mohr, J.; Pantenburg, F. J.; Sesterhenn, M.; Müller, L.; Reuther, F.; Ungelenk, G.; Chen, Q. H.; Bona, F. de; Gambitta, A.; Matteucci, M.; Mazzollini, M.; Monaci, T.; Zelenika, S.

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El-Kholi, A.; Carlo, F. de; Flockerzi, H.; Mohr, J.; Pantenburg, F. J.; Sesterhenn, M.; Müller, L.; Reuther, F.; Ungelenk, G.; Chen, Q. H.; Bona, F. de; Gambitta, A.; Matteucci, M.; Mazzollini, M.; Monaci, T.; Zelenika, S.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230038679
HGF-Programm	41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	User Meeting Elettra, Trieste, I, December 4-5, 1995

Repository KITopen

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