Anwendungen des 6T-WLS für die Mikrostrukturtechnik

Börner, M. W.; El-Kholi, A.; Mohr, J.; Pantenburg, F. J.; Scheunemann, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230038680
HGF-Programm	41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Bessy Nutzertreffen, Berlin, 7.-8.Dezember 1995