KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Anwendungen des 6T-WLS für die Mikrostrukturtechnik

Börner, M.W.; El-Kholi, A.; Mohr, J.; Pantenburg, F.J.; Scheunemann, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230038680
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Bessy Nutzertreffen, Berlin, 7.-8.Dezember 1995
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page