New developments in LIGA-components and microsystems with the aim of industrial application
Mohr, J.; Göttert, J.; Müller, C.; Schomburg, W. K.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038681 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | HCM-Meeting, Lisboa, P, 20.November 1995 |