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New developments in LIGA-components and microsystems with the aim of industrial application

Mohr, J.; Göttert, J.; Müller, C.; Schomburg, W.K.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230038681
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk HCM-Meeting, Lisboa, P, 20.November 1995
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