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Micromembrane pump

Schomburg, W.K.; Ahrens, R.; Büstgens, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230038822
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Actuator '96, Bremen, June 26-28, 1996
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